ダイサー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年9月
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