ダイサー

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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