クロマトグラフ

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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