クロマトグラフ

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  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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