クロマトグラフ

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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