COB
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ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668…
メーカー：SMHP機工 型式：SPB-TS668未来産業技研ではMEMS装置のSDGsに積極的に取り組んでいますワイヤボンダはICチップやLS…
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ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668
メーカー：SMHP機工 型式：SPB-DB668未来産業技研ではボンダーのSDGsに積極的に取り組んでいますダイボンダはICチップやLSI…
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スピンコーター ミカサ製 MS-A100-[M230703A01]
メーカー：ミカサ 型式：MS-A100スピンコータとは、平滑な基材の上に塗料を均一な厚みで塗布し薄膜を作製するものです。特に…
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ディスペンサーコントローラー 岩下エンジニアリング AD9000 ̵…
メーカー：岩下エンジニアリング 型式：AD9000ディスペンサーとは、液体材料を精密に定量吐出するための機器、液体定量吐出…
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ディスペンサーロボット（ペースト塗布ロボット）武蔵エンジニアリング製 SHO…
メーカー：武蔵エンジニアリング 型式：SHOTMASTER 300DSs未来産業技研では塗布ロボットのSDG'ｓに積極的に取り組みます制御…
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スピンドライヤー コクサン製（国産遠心機） H-840SA -[M21062…
メーカー：コクサン（国産遠心機） 型式：H-840SA半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置で遠心力とエ…
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ダイサー Discoディスコ製 DFD-2D/8 -[M221028A04]…
メーカー：Disco（ディスコ） 型式：DFD-2D/8（X軸）ストローク設定範囲：3"～8"Φ ／ ストローク：635mm ／ 切削有効ス…
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ウェハーシートリング加工機 SMHP機工製 型式D-668-[M230410…
メーカー：SMHP機工 型式：D-6688インチ対応タイプ COB装置（chip on board）この装置は、ウェハがマウントされいるシート…
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プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 –…
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冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
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プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
