BURKER

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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