BURKER

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年1月
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