AOI基板検査

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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