AOI基板検査

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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