AOI基板検査

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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