AOI基板検査

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2024年12月
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