AOI基板検査

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年4月
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