アナライザー

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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