アナライザー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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