アナライザー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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