アナライザー

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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