アナライザー
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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