アナライザー

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  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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