アナライザー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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