アナライザー

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年6月
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