アナライザー

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  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年1月
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