アナライザー

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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