株式会社未来産業技術研究所
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シバソク製のディストーションアナライザーです。ShibaSoku、Distortion analyzer
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …