アナライザー
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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