アナライザー

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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