アナライザー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年6月
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