アナライザー

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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