アナライザー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年4月
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