アナライザー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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