アナライザー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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