アナライザー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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