アナライザー

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  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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