アナライザー

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  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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