アナライザー

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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