アナライザー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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