アナライザー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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