アナライザー

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  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  10. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  1. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  7. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

  8. パルスユニット アルバック A2KH-25

  9. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  10. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

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