アナライザー

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年5月
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