アナライザー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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