アナライザー
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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