アナライザー

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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