アナライザー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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