アナライザー
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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