アナライザー

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  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年6月
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