株式会社未来産業技術研究所
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シバソク製のディストーションアナライザーです。ShibaSoku、Distortion analyzer
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ダイサー ディスコ DAD522
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …