アナライザー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
2026年6月
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