アナライザー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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