アナライザー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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