アナライザー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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