アナライザー

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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