アナライザー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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