アナライザー

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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