アナライザー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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