アナライザー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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