アナライザー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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