アナライザー

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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