エアーサンプラー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年7月
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