エアーサンプラー

  1. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2024年10月
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