硬度計

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年8月
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