研磨機

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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