成分分析

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年11月
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