光学レーザー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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