光学レーザー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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