光学レーザー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
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