ポッティング
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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