ポッティング

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年9月
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