プレス機
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
