スパッタ電源
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RF電源 アルバック RFS-005
RF Generator/プラズマ電源/スパッタ電源メーカー:ulvac 型式:RFS-005出力電力500W 出力周波数13.56MHz高周波電源(RF…
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RF電源 ダイヘン DRFS-5SA
RF Generator/プラズマ電源/スパッタ電源メーカー:DAIHEN 型式:DRFS-5SA出力電力500W 出力周波数13.56MHz 電力発生シ…
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スパッタ電源 – DC電源 アルバック DCS0202A
スパッタ用DC電源メーカー:アルバック 型式:DCS0202A出力(OUTPUT):800V 5Aスパッタリング=物理的気相成長法・PVD=の…
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