クロスシェクションポリッシャー
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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