イナートガスオーブン

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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