イナートガスオーブン

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  7. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2024年6月
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