イナートガスオーブン

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年5月
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