イオンミリング
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A…
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M…
メーカー：日本電子（JEOL） 型式：HDT-400処理開始から完了まで全自動処理されます。 TEM（透過電子顕微鏡）やSEM（走査電…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M23030…
メーカー：サンユー電子 型式：SC-708大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/…
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
メーカー：真空デバイス 型式：MSP-1S試料室：内径120mmｘ高65mm（硬質ガラス）試料台：直径50mm（フローティング方式）電極…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式：V…
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
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ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
