イオンコーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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