イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…

  3. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年9月
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