イオンコーター

  1. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年8月
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