薄膜

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  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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