薄膜

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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