薄膜

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  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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