薄膜

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年1月
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