薄膜

  1. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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