薄膜

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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