薄膜

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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