薄膜

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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