薄膜

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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