薄膜

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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