薄膜

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

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  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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