薄膜

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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