薄膜

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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