薄膜

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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