薄膜

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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