薄膜

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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