薄膜

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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