薄膜

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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