薄膜

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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