薄膜

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
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