薄膜

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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