薄膜

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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