薄膜

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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