薄膜

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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