薄膜

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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