薄膜

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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