薄膜

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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