薄膜

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年5月
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