薄膜

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
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