薄膜

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年4月
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