薄膜

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年6月
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