薄膜

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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