薄膜

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年11月
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