薄膜

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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