薄膜

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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