薄膜

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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