薄膜

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  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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