薄膜

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
2026年1月
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