薄膜

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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