薄膜

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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