薄膜

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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