薄膜

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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