薄膜

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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