薄膜

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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