薄膜

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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