薄膜

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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