薄膜

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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