薄膜

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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