薄膜

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  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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