薄膜

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  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

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  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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