薄膜

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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