薄膜

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  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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