薄膜

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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