薄膜

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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