薄膜

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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