薄膜

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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