薄膜

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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