薄膜

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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