薄膜

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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