薄膜

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031