薄膜

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  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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