薄膜

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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