薄膜

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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