薄膜

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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