薄膜

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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