薄膜

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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