薄膜

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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