薄膜

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
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