薄膜

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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