薄膜

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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