薄膜

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  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  6. イオンコーター・日立・E-1010

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  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
2026年6月
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