薄膜

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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