薄膜

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    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

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  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
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