薄膜

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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