薄膜

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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