薄膜

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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