薄膜

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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