薄膜

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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