薄膜

  1. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  5. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  6. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  7. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  9. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  1. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  2. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  4. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  7. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  8. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  10. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

2026年3月
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