薄膜

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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