薄膜

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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