薄膜

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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