薄膜

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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