薄膜

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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