薄膜

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  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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