薄膜

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年6月
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