薄膜

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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