薄膜

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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