薄膜

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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