薄膜

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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