薄膜

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年5月
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