薄膜

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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