薄膜

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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