薄膜

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年5月
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