薄膜

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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