自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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