自家発電装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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