自家発電装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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