自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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