自家発電装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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