自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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