自家発電装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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