自家発電装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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