自家発電装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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