自家発電装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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