自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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