自家発電装置

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年7月
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