自家発電装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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