自家発電装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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