自家発電装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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