自家発電装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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