自家発電装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年6月
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