自家発電装置
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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