自家発電装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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