自家発電装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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