自家発電装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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