自家発電装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年1月
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