自家発電装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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