自家発電装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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