自家発電装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年6月
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