自家発電装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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