自家発電装置

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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