自家発電装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930