自家発電装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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