自家発電装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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