自家発電装置
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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