自家発電装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年1月
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