自家発電装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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