自家発電装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031