自家発電装置

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  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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