自家発電装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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