自家発電装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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