自家発電装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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