自家発電装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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