自家発電装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年2月
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