自家発電装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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