自家発電装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年1月
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