自家発電装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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