自家発電装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031