自家発電装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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