自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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