自家発電装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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