自家発電装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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