自家発電装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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