自家発電装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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