自家発電装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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