自家発電装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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