自家発電装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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