自家発電装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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