自家発電装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年5月
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