自家発電装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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