自家発電装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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