自家発電装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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