自家発電装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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