自家発電装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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