自家発電装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年6月
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