自家発電装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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