自家発電装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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