自家発電装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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