自家発電装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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