自家発電装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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