自家発電装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
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