自家発電装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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