自家発電装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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