自家発電装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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