自家発電装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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