自家発電装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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