自家発電装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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