自家発電装置

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  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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