自家発電装置

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930