自家発電装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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