自家発電装置

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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