自家発電装置

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  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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