自家発電装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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