自家発電装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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