自家発電装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年6月
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