自家発電装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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