自家発電装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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