自家発電装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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