自家発電装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728