自家発電装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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