自家発電装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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