自家発電装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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