自家発電装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
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