自家発電装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
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