自家発電装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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