自家発電装置

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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