自家発電装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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