自家発電装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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