自家発電装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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