自家発電装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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