自家発電装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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