自家発電装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930