自家発電装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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