自家発電装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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