自家発電装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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