自家発電装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2025年12月
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