自家発電装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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