自家発電装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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