自家発電装置

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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