自家発電装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年2月
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