自家発電装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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