自家発電装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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