自家発電装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031