自家発電装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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