自家発電装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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