自家発電装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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