自家発電装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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