自家発電装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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