自家発電装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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