自家発電装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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