自家発電装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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