自家発電装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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