自家発電装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年6月
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