自家発電装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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