自家発電装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031