自家発電装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
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