自家発電装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年6月
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