自家発電装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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