自家発電装置

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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