自家発電装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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