自家発電装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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