自家発電装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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