自家発電装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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