自家発電装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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