自家発電装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年3月
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