自家発電装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年1月
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