自家発電装置

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年6月
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