マッチングコントローラー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年10月
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