ホットプレート

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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