ホットプレート

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年1月
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