ホットプレート

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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