ホットプレート

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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