ホットプレート

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年6月
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