ホットプレート

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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