ホットプレート

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  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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