ホットプレート

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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