ホットプレート

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  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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