ホットプレート

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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