ホットプレート

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年1月
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