ホットプレート

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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