ホットプレート

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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