ホットプレート

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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