ホットプレート

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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