ホットプレート

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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