ホットプレート

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年11月
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