ホットプレート

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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