ホットプレート

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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