ホットプレート

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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