ホットプレート

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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