ホットプレート

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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