ホットプレート

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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