ホットプレート
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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