ホットプレート

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  4. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  5. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  6. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  7. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  8. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  10. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  2. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  3. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  4. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  9. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  10. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

2026年3月
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