ホットプレート

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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