ホットプレート

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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