ホットプレート

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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