ホットプレート

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年5月
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