ホットプレート

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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