ホットプレート

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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