ホットプレート

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年1月
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