ホットプレート

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  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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