ホットプレート

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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