ホットプレート

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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