ホットプレート

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年3月
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