ホットプレート

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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