ホットプレート

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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