ホットプレート

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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