ホットプレート

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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