ホットプレート

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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