ホットプレート

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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