ホットプレート

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年9月
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