ホットプレート

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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