ホットプレート

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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