ホットプレート

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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