ホットプレート

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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