ホットプレート

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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