ホットプレート

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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