ナノインデンタ―

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年9月
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