ダイシング装置

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  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

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  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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