ダイシング装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年6月
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