エアー吸着マット

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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