エアーシャワー

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年6月
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