mirai

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

  2. 恒温槽　エタック製（楠本製）TL-N001L-[M230309A02]

  3. 恒温槽（乾燥機・オーブン）エスペック製PH-400-[M220904A01]

  4. 電気炉（マッフル炉）ヤマト科学製 FO410-[M230118A01]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製
    型式：NCP-400 （M210108A04）

  6. チラー（冷却水循環装置）オリオン機械製 RKS752J-MV-00000-[M210320A13]

  7. コンプレッサー（オイルフリー）アネスト岩田製
    SLP-37EBD-S5 [M221201A03]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA – [M220702A01]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ　アルバック製
    型式：DIS-500
  11. robot

    多関節産業ロボット（6軸）デンソー製 型式：VP-6556-GM-B-CN
  12. ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー）・鈴木商館・C300K

    ヘリウムコンプレッサー　大陽日酸（鈴木商館）
    型式：CCT-CK11003C（C103K）
  13. イオンクリーナー、日本電子（JEOL）

    イオンクリーナー　日本電子製（JEOL）
    型式：JIC-410(ver2)（M190810A07）
  14. 防爆オーブン・ESPEC・SPH-202

    防爆オーブン　ESPEC製（エスペック）
    型式：SPH-202
  15. 自家発電装置（キュービクル式）・東洋電機製造・YT-15CG

    非常用発電装置　東洋電機製造
    型式：YT-15CG
  16. 電気マッフル炉・ヤマト科学・FO200

    電気マッフル炉　ヤマト科学製　FO200-[M180906A03]
  17. 恒温恒湿器・東京理化機械（EYELA）・KCL-2000

    恒温恒湿器　東京理化機械製（EYELA）
    型式：KCL-2000
  18. 防振ゴム式除振台・日本防振工業・RB-1513CS

    光学定盤（防振台）日本防振工業製
    型式：RB-1513CS
  19. 乾燥機オーブン・ESPEC・PHH-101

    恒温槽（乾燥機オーブン）エスペック製（ESPEC）
    型式：PHH-101
  20. へパフィルター・日本無機・ATML-10-E23Z

    へパフィルター（クリーンユニット）日本無機製
    型式ATML-10-E23Z

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