交流電源

  1. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年11月
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