ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
メーカー：アルバック機工（ulvac）
型式：DAU-100（高真空タイプ）
排気速度：100L/min
到達圧力：266Pa
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動によって真空排気をする高真空タイプの真空ポンプです。接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。大気圧から作動が可能。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・佐藤真空
キーワード（品名）：スクロールポンプ・ロータリーポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ・真空排気
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