メーカー：USメック 型式：U29-51-Y
洗浄槽：4槽（超音波槽×2、リンス槽×2）
槽寸法：W300×D400×H300
洗剤・溶剤などを用いる化学力と、振動や機械的エネルギーを用いる物理力の相乗効果を利用して洗浄する装置です。金属部品や樹脂などの脱脂洗浄、研磨紛やほこりの除去、精密金属部品、MEMS、電子デバイス、半導体の洗浄、ガラス基板の最終洗浄、シリコンウエハーの洗浄などが挙げられます。金属部品などの洗浄であれば低い周波数、シリコンウエハーなどでは高い周波数で洗浄されます。
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キーワード（メーカー）：超音波工業・カイジョー・クレスト・ブランソニック・ヤマト科学・ミリポア・ダルトン
キーワード（品名）：純水製造装置・超純水製造装置・純水装置・超音波発振器・高周波・低周波・超音波洗浄機
