メーカー：ヤマト科学 型式：DE610E
温度範囲：30～＋265℃
外寸法：W870mm×H1850mm×D1200mm
内寸法：W600mm×H600mm×D600mm
クリーンオーブンとは、HEPAフィルターを搭載して高温でも清浄度を維持できる乾燥機で、半導体や液晶、電子部品などの無塵環境での恒温試験や、乾燥、ベーク、封止などの生産工程に利用されます。クリーンオーブンの特徴は、高気密性と耐熱HEPAフィルターによって、温度安定時の槽内をクラス100（ISO：クラス5）の環境下に維持でき、温度上昇・下降時にも高クリーン度を発揮する高性能タイプなどがあります。クリーンオーブンは、部品や冶具の乾燥や焼き付け、ICや電子デバイスのバーンインや温度試験用の基板やICソケット、アニールなどの用途に利用されます。
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キーワード（メーカー）エスペック・ヤマト科学・ナガノサイエンス・エタック・楠本製作所・カトー
キーワード（品名）恒温恒湿槽・恒温槽・乾燥機・クリーンオーブン・真空オーブン・バキュームオーブン・インキュベーター
