2026年 3月

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジョン　UV-312

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – [M241128A01]

  4. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]
  5. CNコーダーTM-400

    CNコーダー　炭素・窒素同時定量装置　ヤナコ機器開発研究所　MT-700

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL – 日本電子　SM-09010

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS-411MD-[M241005A03]

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  11. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-9500/LT-9010M

  12. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

  13. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  14. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  15. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　INS-4040

  16. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  17. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  18. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本電子製（JOEL）JFC-1600

  19. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500

  20. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701-AT

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