BURKER

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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