BURKER

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年7月
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