株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400