株式会社未来産業技術研究所
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…