株式会社未来産業技術研究所
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …