株式会社未来産業技術研究所
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…