株式会社未来産業技術研究所
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP