株式会社未来産業技術研究所
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110