株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…