株式会社未来産業技術研究所
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251