株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …