株式会社未来産業技術研究所
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…