株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…