株式会社未来産業技術研究所
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ダイサー ディスコ DAD522
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…