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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H – [M221028A01]
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA
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半導体製造装置
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]
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高周波発振器
半導体製造装置
イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
【売却済み：過去の事例】
オートファインコーター
半導体製造装置
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