sputtering

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  2. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]

  3. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M221221A04]

  4. イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]