sputter

  1. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  2. スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M221028A01]

  3. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]

  6. イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]
  7. イオンスパッタ、日本電子（JEOL）、JFC-1100E

    イオンスパッタ装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JFC-1100E （M190926A05）
  8. スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）、日本電子（JEOL）、JUC-5000

    スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
    型式：JUC-5000 （M190810A05）

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