株式会社未来産業技術研究所
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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