卓上電子顕微鏡 日立 TM3000

走査電子顕微鏡(SEM)は試料表面の微細構造の観察及び分析装置として、バイオから半導体、エレクトロニクスまで、多岐にわたる分野で幅広く利用されています。SEMは汎用的なツールである反面、設置場所の制限や、良好な画像を取得するための操作習得や観察条件設定に時間を要する、といったことがあります。試料表面に電子線を照射し、反射した電子線を像として映し出し、観察する装置。試料室(チャンバー)内を真空状態にし、超深度レンズ(電子ビームの照射)により試料を撮影します。光学レンズと超深度レンズの画像を合成し、精細な画像を 得ることが可能です。

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キーワード(メーカー)ニコン・日立ハイテク・日本電子・サーモフィッシャー・島津製作所・キーエンス・カールツァイス
キーワード(品名)電子顕微鏡・SEM・電子線マイクロアナライザー・集束イオンビーム・FIB・原子間力顕微鏡・AFM・プローブ顕微鏡

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