1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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