1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

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  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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