1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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