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  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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