1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

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  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
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