1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年6月
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