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  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年6月
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