1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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