1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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