1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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