1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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