1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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