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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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