1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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