1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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