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  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

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  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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