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  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

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  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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