1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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