1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年1月
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