株式会社未来産業技術研究所
メーカー:鈴木商館
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410