1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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