1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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