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  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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