1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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