1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
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