1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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