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  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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