1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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