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  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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