1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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