1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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