1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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