1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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