1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031