1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
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