1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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