1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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