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  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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