1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年6月
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