1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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