1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
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