1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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