1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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