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  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

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  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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