1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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