株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本無機
型式:
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T