株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本無機
型式:
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…