株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E