株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM