株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
真空蒸着装置 アルバック VPC-410