株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…