株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
RF電源 RFPP RF10S
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
プラズマクリーナー サムコ PC-300
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E