株式会社未来産業技術研究所
メーカー:EYELA(東京理化機械)型式:
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400