株式会社未来産業技術研究所
メーカー:EYELA(東京理化機械)型式:
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E