株式会社未来産業技術研究所
メーカー:EYELA(東京理化機械)型式:
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…