株式会社未来産業技術研究所
メーカー:EYELA(東京理化機械)型式:
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…