株式会社未来産業技術研究所
メーカー:EYELA(東京理化機械)型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
プラズマ処理装置 神港精機 POEM