株式会社未来産業技術研究所
メーカー:樫山/アルバック
型式:
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T