株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立産機システム
型式:
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP