イオンスパッタ装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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