イオンスパッタ装置

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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