イオンスパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年11月
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