イオンスパッタ装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年1月
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