イオンスパッタ装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年12月
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