イオンスパッタ装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年11月
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