イオンスパッタ装置
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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