イオンスパッタ装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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