イオンスパッタ装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年12月
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