イオンスパッタ装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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