イオンスパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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