イオンスパッタ装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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