イオンスパッタ装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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