イオンスパッタ装置

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  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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