イオンスパッタ装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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