イオンスパッタ装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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