イオンスパッタ装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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