イオンスパッタ装置
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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定温恒温槽(防爆仕様)ヤマト科学 DKN812-[M240104…
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4槽式超音波洗浄装置 USメック U29-51-Y – […
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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