イオンスパッタ装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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