イオンスパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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