イオンスパッタ装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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