イオンスパッタ装置

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  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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