イオンスパッタ装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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