イオンスパッタ装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年12月
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