イオンスパッタ装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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