イオンスパッタ装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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