イオンスパッタ装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年10月
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