イオンスパッタ装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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