イオンスパッタ装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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