イオンスパッタ装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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