イオンスパッタ装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2025年12月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031