耐電圧試験機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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