プラズマ処理装置
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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