フォトレジスト

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  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年8月
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