エッチング装置

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
2026年9月
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