エッチング装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年8月
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