エッチング装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年6月
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