エッチング装置

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年6月
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