エッチング装置

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  3. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  4. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  5. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  8. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  9. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  10. レーザー装置-YAGレーザー Spectra Physics Millen…

  1. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  2. RF電源 RFPP RF10S

  3. 液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST

  4. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020

  5. 電気マッフル炉 島津製作所 MP-15

  6. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  9. マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

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